자기개발16 LNA 설계 요소 및 관련 용어 정리 10GHz 이상의 높은 주파수 에서는 RF 파장이 짧아 지기 때문에 손실이 크다 근데 마이크로파에서 보통 신호가 작고 잡음에 약하다. 수신기의 감도는 잡음에서 수신하려는 신호를 분리해내는 정도인 Noise Figure이며 이는 낮을 수록 감도가 좋다. 이를 해결해주는 것이 바로 LNA이다. Low Noise Amplifer로 그야말로 잡음은 줄이고 전체적인 신호는 높이는 수신단 Amp이다. 송신단 Amp는 다음에 포스팅 하도록 하겠다. LNA에서 중요한 설계 요소는 정합회로와 특성파라미터이다. 임피던스를 부정합은 협대역을 만든다. LNA는 협대역 or 광대역 최대이득 or 최대 전력 선형전력 or 최소잡음 지수 로 나눌 수 있다. Parametric Amplifier는 저잡음 특성을 갖는다. 이 는 발진.. 2024. 2. 28. 포토, 식각 후(PR 제거 후) 패턴이 사라지는 이유 포토 공정, 식각 공정을 마친후 PR strip을 했는데 패턴이 사라진 이유(패턴이 안보이는 이유)에 대해서 알아 보도록 하겠습니다. 포토 공정에서 HMDS를 입히고 PR을 도포하고 soft bake, 노광, hard bake, developing까지 마친후 Inspection하면 패턴이 보였을 겁니다. 하지만 식각공정을 하고 PR까지 제거 하였는데 갑자기 Inspection때 보였던 패턴이 사라졌다면 어떤 이유에서 보이지 않고 웨이퍼가 깨끗해 졌는지 생각해 보도록 합시다. 이유는 몇가지가 있는데 하나씩 살펴보죠. 1. 불충분한 노광 시간 (Insufficient exposure time) 가장 유력한 원인이죠. PR에 UV를 비추는 시간이 짧으면 PR구조가 안쪽(SiO2) 바로위 까지 파괴가 안되고 패.. 2023. 4. 15. [포토 공정] 반도체 미세화 방법과 한계 (파장별 공정크기, EUV, 등) 반도체의 영원한 목표, 미세화 Scailing down 입니다. 미세화란, 패턴의 해상도로 볼 수 있습니다. 왜 미세화가 어려운지 자세히 한번 알아 봅시다. 마지막에 정리까지 해드릴태니 한번 꼭 읽어보시기 바랍니다. 렌즈의 직경 이론적으로는 노광에 사용하는 빛의 파장에 비례하고 렌즈의 직경에 반비례합니다. 그렇다고 렌즈의 크기를 무작적 줄일수도 없는게 DOF depth of focus 초점거리가 클수록 포토공정의 안정성이 커지기 때문입니다. 왜냐하면 렌즈의 직경이 작으면 빛이 잘 안모이기 때문입니다. 즉, 렌즈의 직경은 정해져 버립니다. 더이상 미세화에 관여하기 어려워진것이죠. 또한 장비 특성상 렌즈를 바꾸기도 쉽지 않아 더욱이 렌즈와 관련된 parameter은 바꾸기 힘듭니다. 노광 파장 따라서 여태까.. 2023. 4. 14. [포토 공정] 포토레지스트(PR) 특성 및 종류 특성 1. 대조비 : 노광 에너지에서 노광 용해성 대 비 노광부의 용해성 차이며 대조비가 클수록 패턴모양이 좋고 마진률도 좋다. 2. 열적 안정성 : 베이크할때 PR이 흘러 내리면 안돼니까! 3. 식각 내성 : 식각할때 PR이 잘 견뎌줘야지 4. 제거의 용이성 : PR은 잘붙어있어야하지만 필요없어지면 잘 떨어지기도 해야한다. 5. 광 민감성 : 양성 PR => 문턱에너지, 음성 PR=> 노광후 PR 두께 50%되는 노광 에너지 6. 현상 속도 7. 기판과 접착력 : Resin의 분자량이 클수록 접착력이 좋다. PR 종류 1. 자외선(UV)용 PR 음성 PR, 양성 PR이 있다. 음성 PR은 노광당하면 가교 때문에 연결이 강해져 현상액에 녹지 않는다. 반대로 양성 PR은 폴리머의 체인이 끊어져 잘 녹는다... 2023. 4. 9. 이전 1 2 3 4 다음
